企业简介
无锡亚电智能装备有限公司(AEL)坐落于江苏省无锡市,是一家半导体设备制造企业,主要从事8寸和12寸半导体湿法设备及其辅助设备的设计和制造。目前该公司的产品包括:8寸和12寸 Wet bench,8寸和12寸炉管清洗机、Cassette&Foup清洗机、Parts清洗机,CDS等,同时该公司也承接半导体湿法设备的维修和改造业务。
该公司在国内厂房占地约3000平米,其中无尘车间占地约1000平米。目前公司正在江苏泰州筹建12寸 single 设备厂,占地面积100余亩,预计未来的3~5年时间12寸 single 设备可以研发成功并投入使用。
AEL设计制造的8寸和12寸wet bench 国内外累计17台,涵盖:DHF、BOE、SC1、SC2、Solvent、SPM、Nitride、EGBHF等工艺。其中2018年该公司为华润上华设计制造的8寸130nm制程 cassetteless wetbench已投入生产中。
AEL联合国内外资深的半导体湿法工程师,共同组建一支集研发、设计、制造、工艺解决为一体的专业团队,国内设备和工艺团队主要由国内一线业内的外资企业和国内企业工程师组成(如:Intel、SKhynix、CSMC、SIMC等);外籍设备和工艺团队主要由日韩等长期从事半导体湿法设备研发设计制造的资深工程师组成。半导体湿法设备研发设计制造经验不低于十年以上的中高级工程师15人。在其逐渐成长的过程中累计了大量的生产一线经验,具备和国际一线厂商竞争的实力。