公司主要从事真空设备特别是微细加工设备的产品研制、设计开发、生产销售、技术咨询，同时开展微细加工及相关工艺的研究。产品有匀胶机、烘胶台、曝光（光刻）机、刻蚀机（ICP）、淀积台（PECVD）、溅射台、去胶/烘胶一体机、键合炉、溅射/刻蚀一体机。

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